GB/T 43313-2023《碳化硅抛光片表面质量和微管密度的测试 共焦点微分干涉法》
Test method for surface quality and micropipe density of polished silicon carbide wafers—Confocal and differential interferometry optics
标准类型：国家标准
标准属性：推荐性
标准状态：现行
下载PDF文件
国家标准《碳化硅抛光片表面质量和微管密度的测试 共焦点微分干涉法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行，主管部门为国家标准委。
主要起草单位中国电子科技集团公司第四十六研究所、山东天岳先进科技股份有限公司、常州臻晶半导体有限公司、湖州东尼半导体科技有限公司、厦门坤锦电子科技有限公司、中国电子科技集团公司第十三研究所、广东天域半导体股份有限公司、有色金属技术经济研究院有限责任公司、中国科学院半导体研究所、ＴＣＬ环鑫半导体（天津）有限公司、浙江东尼电子股份有限公司。
主要起草人姚康 、刘立娜 、何烜坤 、李素青 、马春喜 、高飞 、张红岩 、陆敏 、郑红军 、房玉龙 、芦伟立 、丁雄杰 、刘薇 、李嘉炜 、晏阳 、钮应喜 、杨玉聪 、黄树福 。
基础信息
标准号：GB/T 43313-2023发布日期：2023-11-27实施日期：2024-06-01标准类别：方法中国标准分类号：H21国际标准分类号：77.040 归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会主管部门：国家标准委
起草单位
中国电子科技集团公司第四十六研究所常州臻晶半导体有限公司厦门坤锦电子科技有限公司广东天域半导体股份有限公司中国科学院半导体研究所浙江东尼电子股份有限公司山东天岳先进科技股份有限公司湖州东尼半导体科技有限公司中国电子科技集团公司第十三研究所有色金属技术经济研究院有限责任公司ＴＣＬ环鑫半导体（天津）有限公司
起草人
姚康刘立娜马春喜高飞郑红军房玉龙刘薇李嘉炜杨玉聪黄树福何烜坤李素青张红岩陆敏芦伟立丁雄杰晏阳钮应喜
相近标准(计划)
20231108-T-469 碳化硅单晶片微管密度测试方法SJ/T 11504-2015 碳化硅单晶抛光片表面质量的测试方法GB/T 31351-2014 碳化硅单晶抛光片微管密度无损检测方法20240136-T-469 金刚石单晶抛光片位错密度的测试方法GB/T 30868-2014 碳化硅单晶片微管密度的测定 化学腐蚀法20240494-T-469 碳化硅单晶抛光片堆垛层错测试方法SJ/T 11503-2015 碳化硅单晶抛光片表面粗糙度的测试方法20250822-T-469 200mm碳化硅单晶抛光片SJ/T 11490-2015 低位错密度砷化镓抛光片蚀坑密度的测量方法SJ/T 11489-2015 低位错密度磷化铟抛光片蚀坑密度的测量方法
热门行业检测
Popular Industry Testing
服务客户
+
出具报告
+
专业人员
+
实验仪器
+
微析服务优势
SERVICE ADVANTAGES
CMA/CNAS资质
微析技术研究院已经过严格的审核程序，同时获得了CMA/CNAS双资质认证，是一家专业正规的三方检测中心。
数据严谨精准
提供精准的数据支持，建立了完善的数据管理系统，对每个检测项目数据进行详细记录与归档，以便随时查阅追溯。
独立公正立场
严格按照法律法规和行业标准行事，不受任何外部干扰，真实反映实际情况，出具的检测报告具有权威性和公信力。
服务领域广泛
服务领域广泛，涉及众多行业。食品、环境、医药、化工、建筑、电子、机械等领域，都能提供专业检测服务。
检测服务流程
SERVICE PROCESS
只需四步
轻松解决需求
关于微析院所
ABOUT US WEIXI
微析研究所总部位于北京，拥有数家国内检测、检验（监理）、认证、研发中心，1家欧洲（荷兰）检验、检测、认证机构，以及19家国内分支机构。微析研究所拥有35000+平方米检测实验室，超过2000人的技术服务团队。
业务领域覆盖全国，专注为高分子材料、金属、半导体、汽车、医疗器械等行业提供大型仪器测试(光谱、能谱、质谱、色谱、核磁、元素、离子等测试服务)、性能测试、成分检测等服务；致力于化学材料、生物医药、医疗器械、半导体材料、新能源、汽车等领域的专业研究，为相关企事业单位提供专业的技术服务。
微析研究所是先进材料科学、环境环保、生物医药研发及CMC药学研究、一般消费品质量服务、化妆品研究服务、工业品服务和工程质量保证服务的全球检验检测认证 (TIC)服务提供者。微析研究所提供超过25万种分析方法的组合，为客户实现产品或组织的安全性、合规性、适用性以及持续性的综合检测评价服务。
十多年的专业技术积累
服务众多客户解决技术难题
每年出具十余万+份报告
2500+名专业技术人员
行业资讯动态
NEWS AND UPDATES
行业百科
常见问题
[06-17]
[06-17]
[06-17]
[06-17]
[06-17]
[06-17]
[06-17]
[06-17]
[06-17]
[06-17]
[06-17]
[06-17]
[06-17]
[06-16]
[06-17]
[06-17]
[06-17]
[06-17]
[06-17]
[06-17]
[06-17]
[06-17]
[06-17]
[06-17]
[06-17]
[06-17]
[06-17]
[06-17]
更多资讯动态
MORE NEWS AND UPDATES